Mäander / Stride – Durchsatz-Kalkulator

Kreisrunde Objekte · Modell nach ScanPlanItem.PlanScanlines (DefectScanPattern.Full)
Sensor-Preset
Optik / Auflösung
Pixelpitch = Pixelgröße / Magnification. Feld überschreibbar – dann wird die effektive Magnification rückgerechnet.
FoV X
–
FoV Y
–
Objekt & Scan-Geometrie
Margin verkleinert den Scan-/Clipping-Kreis nach innen (Scangrenze = R−Margin); größerer Margin → weniger Waferrand. Rand-Clipping: „Außenkante tangiert" verschiebt jede Zeile so, dass die äußere FoV-Kante die Scangrenze tangiert (äquatorseitige Ecke berührt, die andere liegt außen) – lückenlos, minimaler Überhang, Überlapp je Zeile optimiert. „4-Ecken-Raster" = 1:1 ScanPlanItem (festes Raster, FoV behalten sobald eine Ecke im Kreis). „Auto"-Orientierung = FoV_X>FoV_Y → vertikal.
Bewegung (Basis)
Ramp-Komp.: Vor-/Nachverlagerung des Startpunkts als Anteil der Beschleunigungsstrecke v²/2a. 0 % = Start exakt auf dem ersten Triggerpunkt; 100 % = volle Beschleunigungsstrecke (v genau am 1. Trigger erreicht).
Override: Scan-Bewegung
Override: Umsetz-Bewegung
Motion-Blur (optional)
Blur = v_eff · Belichtungszeit. Bei gepulster Beleuchtung Pulslänge eintragen.
Zoom: 100%
Bahngeschwindigkeit
0v_max
─ Scan  ·  - - Umsetz  ·  ▭ Bildfeld

Mausrad = Zoom · Ziehen = Verschieben · Doppelklick = Reset
Durchsatz
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Zeit / Objekt
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Scanzeilen
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Trigger (Frames)
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eff. Scan-Geschw.
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benötigte Bildrate
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Ø Bildrate (Scan)
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Scanpfad-Länge (gesamt)
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Ø Brutto-Geschw.
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Scan / Umsetz / Overhead
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Pitch längs / quer
–
Überlapp quer (effektiv)
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Motion-Blur
–
Scanrichtung
–
Modell-Annahmen & Hinweise
• Geometrie exakt portiert aus ScanPlanItem.PlanScanStripe/PlanScanlines (Pattern Full): Anzahl Scanzeilen ceil((D−ovl)/(FoV_quer−ovl)), Querüberlapp exakt eingepasst, Längspitch FoV_längs−ovl, zirkuläres Clipping per 4-Eck-Test (IsFoVIntersectingWafer). D = 2·(Radius+Margin).
• Orientierung wie im Code: ist FoV_X > FoV_Y → vertikale Scanzeilen, sonst horizontal.
• Scanbewegung je Zeile als trapezförmiges Profil über Trigger­strecke + 2·Rampe mit Scan-v/a; konstante v über dem Triggerbereich (On-the-fly). Rampe = v²/2a · (1+Ramp%).
• Umsetzbewegung als koordinierte Linearbewegung (Vektor) über die euklidische Distanz vom Zeilenende zum nächsten Zeilenanfang, mit Umsetz-v/a. Bei Stride ist dieser Weg ≈ volle Zeilenlänge, bei Mäander nur der Höhenversatz + Rampenüberhang.
• Bildraten-Limit: v_eff = min(Scan-v, maxFps · Längspitch). Bei Limit wird v_eff (gelb/„CAM-LIMIT") gesetzt.
• Zeit/Objekt = Anfahrt zur 1. Zeile + Σ Scanzeiten + Σ Umsetzzeiten.
• Sensor-Presets sind Richtwerte – v. a. die IDS-Modelle gegen das Datenblatt prüfen. Alle Felder sind editierbar.